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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體專用檢測(cè)儀器設(shè)備XRDFreiberg-Omega/Theta XRDOmega/Theta XRD Mapping面掃功能

Omega/Theta XRD Mapping面掃功能
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Omega/Theta XRD Mapping面掃功能掃臺(tái)允許使用受控的網(wǎng)格模式來探索整個(gè)樣品表面。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉(zhuǎn)盤頂部容納額外的XY定位平臺(tái)。樣品表面可以根據(jù)用戶定義的網(wǎng)格進(jìn)行掃描。由于樣品上X射線光斑的大小,小的網(wǎng)格間距約為1毫米。

產(chǎn)品型號(hào):Freiberg-Omega/Theta XRD
更新時(shí)間:2025-02-11
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:1712
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Omega/Theta XRD Mapping面掃功能

Omega/Theta XRD Mapping面掃功能掃臺(tái)允許使用受控的網(wǎng)格模式來探索整個(gè)樣品表面。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉(zhuǎn)盤頂部容納額外的XY定位平臺(tái)。樣品表面可以根據(jù)用戶定義的網(wǎng)格進(jìn)行掃描。由于樣品上X射線光斑的大小,小的網(wǎng)格間距約為1毫米。


 


繪圖階段可以與Omega掃描結(jié)合起來,以獲得晶體方向圖,或與搖擺曲線測(cè)量結(jié)合起來,以獲得表面的扭曲圖??商峁┯糜陲@示和分析的軟件包。

 

Omega/Theta XRD Mapping面掃功能

是診斷晶體生長(zhǎng)過程中和制造過程中出現(xiàn)的質(zhì)量問題的一個(gè)寶貴工具


即使在單晶中,晶體取向也可以在表面上表現(xiàn)出微小的變化,這是由晶格缺陷引起的內(nèi)部應(yīng)變?cè)斐傻摹S行蛏L(zhǎng)的薄膜也可以有一個(gè)有趣的面內(nèi)取向分布。

繪制一個(gè)表面需要大量的測(cè)量。在這里,歐米茄掃描方法可以提供其速度方面的優(yōu)勢(shì)。圖中顯示的是在一個(gè)(Si,Ge)固溶體晶片上測(cè)量的取向圖。較大的方向差是0.03°。同心圓是按照晶體的生長(zhǎng)環(huán)進(jìn)行的。

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