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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心MDPMDPinline晶圓片在線面掃檢測儀

晶圓片在線面掃檢測儀
產(chǎn)品簡介

晶圓片在線面掃檢測儀是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內(nèi),就可以“動態(tài)"測量出晶圓圖。

產(chǎn)品型號:MDPinline
更新時間:2025-02-11
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2998
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MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內(nèi),就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。

優(yōu)勢介紹:一秒一片!可集成在生產(chǎn)線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試,在不到一秒內(nèi)就能形成單個硅片的二維圖像。

    該儀器本身不使用機械運動部件,因此在連續(xù)操作下也非常可靠。它為每個晶圓片提供完整的拓撲結(jié)構(gòu),這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑,而這些都是迄今為止*的。例如,在不到3個小時的時間內(nèi),對10000個晶圓片的拓撲結(jié)構(gòu)進行自動統(tǒng)計評估,結(jié)果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質(zhì)量的各種細節(jié)。 

        實時的質(zhì)量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產(chǎn)過程中,MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障,從而使產(chǎn)品達到的性能。 

  

 

優(yōu)勢介紹

◆ 在不到一秒的時間內(nèi),可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數(shù):載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線掃描)。

◆在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。

◆適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量,以及識別晶圓片層面的結(jié)晶問題,例如在光伏行業(yè)。

◆適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術(shù)參數(shù)

 

樣品厚度

 

100 μm up to 1 mm

 

樣品尺寸

 

在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間,或 4”到18”

 

電阻率

 

0.2 - 103 Ohm cm

 

傳導(dǎo)類型

 

p, n

 

材質(zhì)

 

硅晶圓,部分或*加工的晶圓片,復(fù)合半導(dǎo)體等 

 

測量性能

 

少數(shù)載流子壽命(穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的)

 

測量位置

 

默認2.8 mm, 其它可選

 

檢測時間

 

獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒

 

尺寸

 

400 x 400 x 450 mm,重量:29 kg

 

電源

 

24 V DC, 4 A

其它細節(jié)

· 允許單片控制

· 參數(shù)自動設(shè)置,預(yù)定義的排序菜單

· 多達15個質(zhì)量等級的晶圓片自動分揀

· 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

· 快速提升工藝和生產(chǎn)線

 

 

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